Herbert Gross

B24 · Vortrag · 126. Tagung (2025)

Homogenisierung partiell kohärenter Strahlung

H. Gross

H2 · Hauptvortrag · 126. Tagung (2025)

Simulation und Tolerierung optischer Systeme mit Freiformflächen

H. Gross

B23 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

Higher-order aberration and sensitivity analysis of symmetry-free optical systems

Z. Tang, H. Gross

A11 · Vortrag · 123. Tagung (2022)

Bestimmung der besten Freiformposition sowie einer Startgeometrie der Fläche vor der Optimierung am Beispiel eines abbildenden Mehrspiegeldesigns

B. Satzer, M. Kazimierska, F. R. Widiasari, H. Gross, R. Brüning

H4 · Hauptvortrag · 123. Tagung (2022)

History and New Insights: Design of Microscope Objectives

Y. Zhang, H. Gross

H5 · Hauptvortrag · 121. Tagung (2020)

Theorie und Bedeutung von Induzierte Farbfehlern

A. Berner, H. Gross

B37 · Vortrag · 119. Tagung (2018)

Angle Resolved Light Scattering Microscope

Y. Sekman, S. Schröder, H. Gross

B23 · Vortrag · 118. Tagung (2017)

Effects of striae in optical glass on optical systems – first results

S. Reichel, S. Gärtner, P. Hartmann, U. Petzold, H. Gross

Vortrag PDF

B27 · Vortrag · 118. Tagung (2017)

Berechnung von Abbildungsfehlern 3. Ordnung für Spiegelsysteme mit verkippten und dezentrierten Elementen

B. Satzer, U. Lippmann, G. Notni, H. Gross

B23 · Vortrag · 115. Tagung (2014)

Feldpropagation auf schiefe Ebenen und Transmission mit verallgemeinerten Fresnelkoeffizienten im Frequenzraum

M. Tessmer, H. Gross

P14 · Poster · 114. Tagung (2013)

Untersuchungen zum Einfluss verwendeter Näherungen in der Scatterometrie

J. Endres, S. Burger, A. Diener, H. Gross, M.-A. Henn, S. Heidenreich, M. Wurm, B. Bodermann

A28 · Vortrag · 113. Tagung (2012)

Towards traceability in scatterometric-optical dimensional metrology for optical lithography

B. Bodermann, J. Endres, H. Gross, M.-A. Henn, A. Kato, F. Scholze, M. Wurm

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B35 · Vortrag · 108. Tagung (2007)

Numerische Analyse des Potentials der DUV-Scatterometrie zur Charakterisierung von EUV-Photomasken

B. Bodermann, M. Wurm, R. Model, H. Gross

H7 · Hauptvortrag · 107. Tagung (2006)

Scatterometrie: optische 3D-Charakterisierung strukturierter Oberflächen ohne (Beugungs-) Grenzen?

M. Wurm, B. Bodermann, H. Gross, A. Rathsfeld

Hauptvortrag PDF