Herbert Gross
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF, Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering IOF
Institute of Applied Physics, Friedrich Schiller University Jena
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)
14 papers
B24 · Talk · 126. Conference (2025)
Homogenisierung partiell kohärenter Strahlung
H2 · Keynote · 126. Conference (2025)
Simulation und Tolerierung optischer Systeme mit Freiformflächen
B23 · Talk · 124. Conference (2023)
Higher-order aberration and sensitivity analysis of symmetry-free optical systems
A11 · Talk · 123. Conference (2022)
Bestimmung der besten Freiformposition sowie einer Startgeometrie der Fläche vor der Optimierung am Beispiel eines abbildenden Mehrspiegeldesigns
H4 · Keynote · 123. Conference (2022)
History and New Insights: Design of Microscope Objectives
H5 · Keynote · 121. Conference (2020)
Theorie und Bedeutung von Induzierte Farbfehlern
B37 · Talk · 119. Conference (2018)
Angle Resolved Light Scattering Microscope
B23 · Talk · 118. Conference (2017)
Effects of striae in optical glass on optical systems – first results
B27 · Talk · 118. Conference (2017)
Berechnung von Abbildungsfehlern 3. Ordnung für Spiegelsysteme mit verkippten und dezentrierten Elementen
B23 · Talk · 115. Conference (2014)
Feldpropagation auf schiefe Ebenen und Transmission mit verallgemeinerten Fresnelkoeffizienten im Frequenzraum
P14 · Poster · 114. Conference (2013)
Untersuchungen zum Einfluss verwendeter Näherungen in der Scatterometrie
A28 · Talk · 113. Conference (2012)
Towards traceability in scatterometric-optical dimensional metrology for optical lithography
B35 · Talk · 108. Conference (2007)
Numerische Analyse des Potentials der DUV-Scatterometrie zur Charakterisierung von EUV-Photomasken
H7 · Keynote · 107. Conference (2006)