Implementierung der Auswertealgorithmen für ein neuartiges mikroskopisches Verfahren zur Bestimmung bidirektionaler Größen aus Fokusserienmessungen

Im Rahmen eines BMBF-Projektes wurde ein neuartiges, mikroskopisches Verfahren zur verbesserten Messung bidirektionaler Größen wie z. B. Strukturbreiten von Einzellinien entwickelt. Dieses basiert auf der Messung von Fokusserien und deren Auswertung mittels der Bays'schen Zielvektor-Optimierung. Hier wird das Residuum zwischen Mess- und Simulationsergebnis durch Variieren der Parameter für Struktur und optischer Aberration reduziert. Dabei werden aus den afokalen Bildern zusätzliche Strukturinformation gewonnen, um die gegenwärtige Messunsicherheit bei mikroskopisch bidirektionalen Messungen zu verringern. Die präzise Modellierung der Beleuchtung, der Struktur, der Abbildung sowie die Simulation der Messung und die Optimierung wird mit Hilfe der Software JCMsuite durchgeführt. Diese wendet die Finite-Elemente-Methode an. In diesem Beitrag wird die Entwicklung einer grafischen Benutzeroberfläche für die Messauswertung vorgestellt. Erste Ergebnisse und deren metrologische Einordnung werden hier präsentiert. Die Oberfläche des Programms basiert auf der des in der PTB entwickelten Programms Rigo zur Messauswertung mittels rigoroser Verfahren und soll dieses langfristig ersetzen.