Eberhard Manske

Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Technische Universität Ilmenau

Technische Universität Ilmenau

Fachgebiet Präzisionsmesstechnik, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Technische Universität Ilmenau

12 Beiträge

B34 · Vortrag · 126. Tagung (2025)

Interferometrisches Streifenstabilisierungssystem für scannende Interferenzlithografie auf Basis eines Polarisations-Bildsensors

K. Treptow, H. Wu, J. Rühle, I. Ortlepp, O. Sawodny, E. Manske, T. Kissinger, C. Pruß, T. Haist, S. Reichelt

P18 · Poster · 126. Tagung (2025)

Implementierung der Auswertealgorithmen für ein neuartiges mikroskopisches Verfahren zur Bestimmung bidirektionaler Größen aus Fokusserienmessungen

S. Dopslaff, J. Krüger, P. Manley, B. Bodermann, P.-I. Schneider, D. Bergmann, R. Köning, C. Eder, A. Heinrich, M. Hammerschmidt, L. Zschiedrich, E. Manske

A9 · Vortrag · 123. Tagung (2022)

Aktive Beeinflussung des Brechungsindex der Luft für optische Präzisionssysteme

M. Hoffmann, I. Ortlepp, E. Manske

A10 · Vortrag · 123. Tagung (2022)

Heterodynes Interferometer mit vier Strahlen für hochpräzise Längen- und Winkelmessung in Nanopositionier- und Nanomessmaschinen

G. Straube, J. S. Fischer-Calderón, I. Ortlepp, R. Füßl, E. Manske

B29 · Vortrag · 123. Tagung (2022)

Integration eines ultravioletten Direktschreiblasers und dessen roten differentiell-konfokalen Messsystems

J. Belkner, J. Leineweber, A. V. Häcker, I. Ortlepp, E. Manske

B33 · Vortrag · 123. Tagung (2022)

Weitere Entwicklungen zum Zwei-Photonen direktem Laserschreiben zur großflächigen Nanostrukturierung

A. V. Häcker, L. Mohr-Weidenfeller, E. Manske

B37 · Vortrag · 121. Tagung (2020)

A thermal actuated Membrane as oscillating Pinhole for the high-frequent Modulation of Light

J. Belkner, J. Döll, C. Koppka, M. Breiter, I. Ortlepp, U. Gerhardt, S. Strehle, E. Manske

P27 · Poster · 118. Tagung (2017)

Kompakter Nullpunkt-Winkelsensor auf Basis eines Kösters-Prismas

V. Ullmann, E. Manske

A3 · Vortrag · 116. Tagung (2015)

High-precision optical step detection

J. Schuppich, R. Kampmann, S. Sinzinger, R. Mastylo, E. Manske

A14 · Vortrag · 115. Tagung (2014)

Absolute Längenmessung in einem polarisationsoptischen Weißlichtinterferometer

V. Ullmann, E. Manske

A16 · Vortrag · 112. Tagung (2011)

Multisensortechnologie mit der Nanopositionier- und Nanomessmaschine

E. Manske, G. Jäger, T. Hausotte

A37 · Vortrag · 112. Tagung (2011)

Verbesserung der Kantenfindung mit einem Fokussensor durch Simulationen auf der Grundlage rigoroser Beugungstheorie

H. Baitinger, E. Manske, R. Mastylo, N. Vorbringer-Dorozhovets, S. Sinzinger, G. Jäger, J. Bischoff