Interferometrie in streifender Inzidenz an Asphären
- Institute of Optics, Information and Photonics, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
Die interferometrische Vermessung technisch rauer Asphären in streifender Inzidenz (2019, B28) stellt eine neue Möglichkeit dar, unpolierte Linsen auf ihre Formabweichungen zu prüfen. Neben den experimentellen Untersuchungen können geeignete Simulationsalgorithmen mittels Raytracing die Analyse und Auswertung der Messdaten auf unterschiedliche Arten erleichtern bzw. vervollständigen. In diesem Beitrag werden die Simulationsergebnisse für Asphären mit dazugehörigen Diskussionen der Phasenverläufe und der Eliminierung der Dejustagen vorgestellt. Das verwendete Messsetup, die aktuellen Messdaten und das Zusammensetzten einzelner Messverteilungen zu einem Gesamtergebnis mit den dazugehörigen Interpolationsverfahren werden im Vortrag ebenfalls diskutiert.