Interferometrie in streifender Inzidenz an Asphären: Simulationen und Messergebnisse

  1. 1Institute of Optics, Information and Photonics, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
  2. 2Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts, Max Planck Institute for the Science of Light

sergej.rothau@fau.de

Die interferometrische Vermessung technisch rauer Asphären in streifender Inzidenz stellt eine neue Möglichkeit dar, unpolierte Linsen auf ihre Formabweichungen zu prüfen. Neben den experimentellen Untersuchungen können geeignete Simulationsalgorithmen mittels Raytracing die Analyse und Auswertung der Messdaten auf unterschiedliche Arten erleichtern bzw. vervoll-ständigen. Schon auf der letztjährigen DGaO-Jahrestagung wurden ähnliche Simulationsergebnisse für sphärische Messobjekte in einem Beitrag (2019, P9) präsentiert. In diesem Beitrag werden die Simulationsergebnisse für Asphären mit dazugehörigen Diskussionen der Phasenverläufe und der Eliminierung der Dejustagen vorgestellt.

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@inproceedings{dgao121-p8, title = {Interferometrie in streifender Inzidenz an Asphären: Simulationen und Messergebnisse}, author = {Sergej Rothau, Tobias Schamburek, Klaus Mantel, Norbert Lindlein}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 121. Jahrestagung}, year = {2020}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Poster P8} }
121. Annual Conference of the DGaO · Bremen · 2020