Diskussion und Analysis der Oberflächenvermessung konvexer, rauer Sphären mittels Interferometrie in streifender Inzidenz
- 1Institut für Optik, Information und Photonik, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
- 2Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts
sergej [dot] rothau [at] fau [dot] de
Die Grundidee einer interferometerischen Vermessung rauer, konvexer Asphären in streifender Inzidenz wurde zusammen mit den Simulationsergebnissen und dem ersten realisierten Messsetup bereits auf der letztjährigen DGaO-Jahrestagung (2019, B28) dem Fachpublikum vorgestellt. In diesem Beitrag soll der experimentelle Vorschritt dieses Forschungsprojektes präsentiert werden. Neben der Vorstellung der aktuellen Messdaten werden die berechneten Oberflächenabweichungen eines sphärischen Messobjekts im Detail besprochen. Die Analyse der Objektdejustagen für die Feinpositionierung des Messobjekts im Interferometer, die mit Hilfe der simulierten Phasenabweichungen durchgeführt wird, wird im Vortrag ebenfalls diskutiert.
@inproceedings{rothau2020a9,
author = {Rothau, Sergej and Mantel, Klaus and Lindlein, Norbert},
title = {{Diskussion und Analysis der Oberflächenvermessung konvexer, rauer Sphären mittels Interferometrie in streifender Inzidenz}},
booktitle = {DGaO-Proceedings 2020},
series = {DGaO-Proceedings},
eventtitle = {121. Jahrestagung der DGaO},
eventdate = {2020-06-03/2020-06-06},
venue = {Bremen},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
year = {2020},
pages = {A9},
url = {https://dgao-proceedings.de/paper/121-a9}
}