Reflektometrie - ein flexibles und robustes Messverfahren für unterschiedlichste Anwendungen im Mikro- und Makrobereich

Moderne Produktionsprozesse sind gekennzeichnet durch immer höhere Anforderungen an die Qualität der Endprodukte bei gleichzeitiger Minimierung der Herstellkosten. Um dies umzusetzen, sind neue, schnell messende Systeme zur Qualitätssicherung erforderlich, die auch unter schwierigen Randbedingungen mit einer hohen Auflösung arbeiten und kostengünstig sind. Eine neue Technik, die diese Anforderungen erfüllt, ist die Reflektometrie, die eine Oberflächen- und Strukturbeschreibung mit Auflösungen im nm - Bereich liefert und neben einer Defekterkennung auch eine Qualifizierung von Prozessen erlaubt. In dieser Veröffentlichung wird der Einsatz der Reflektometrie in unterschiedlichsten Anwendungen in einem weiten Skalenbereich gezeigt. Dieser Bereich geht von der Inspektion von Solarpanelen über Auto- und Flugzeugbauteile bis hinunter zu Linsen und optischen Mikrostrukturen. Neben den jeweiligen Messergebnissen werden auch die verschiedenen Systemkonfigurationen vorgestellt.