Andrea Knauer

Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano, Technische Universität Ilmenau

2 Beiträge

B34 · Vortrag · 123. Tagung (2022)

Vergleich verschiedener Ansätze zur zerstörungsfreien optischen Charakterisierung von Subwellenlängenstrukturen

J. Wüster, A. Knauer, R. Schmidt-Grund, S. Sinzinger

A2 · Vortrag · 122. Tagung (2021)

Ellipsometrie zur Charakterisierung optischer Beugungsgitter mit hohem Aspektverhältnis

J. Wüster, A. Knauer, S. Sinzinger