Andrea Knauer

Institute of Micro- and Nanotechnologies MacroNano, Technische Universität Ilmenau

2 papers

B34 · Talk · 123. Conference (2022)

Vergleich verschiedener Ansätze zur zerstörungsfreien optischen Charakterisierung von Subwellenlängenstrukturen

J. Wüster, A. Knauer, R. Schmidt-Grund, S. Sinzinger

A2 · Talk · 122. Conference (2021)

Ellipsometrie zur Charakterisierung optischer Beugungsgitter mit hohem Aspektverhältnis

J. Wüster, A. Knauer, S. Sinzinger