Martin Steglich

Carl Zeiss Jena GmbH

Institut für Angewandte Physik, Friedrich-Schiller-Universität Jena

4 Beiträge

A18 · Vortrag · 125. Tagung (2024)

Hochauflösende EUV-Gitter durch 2D-Phasenkorrektur in der Linienverteilung

M. Burkhardt, M. Steglich, M. Helgert, D. Lehr, S. Sinzinger

B30 · Vortrag · 123. Tagung (2022)

Abbildende holografische EUV-Gitter

M. Burkhardt, M. Steglich, A. Kalies, M. Stumpf, D. Lehr

A31 · Vortrag · 120. Tagung (2019)

Si-microstructures for back-illuminated Ge-on-Si photodetectors

D. Schmelz, K. Dietrich, M. Steglich, U. Zeitner

B15 · Vortrag · 120. Tagung (2019)

Musterprojektion im kurzwelligen Infrarot (SWIR): augensichere 3D-Formmessung mit hoher Genauigkeit

S. Heist, M. Landmann, M. Steglich, Y. Zhang, P. Kühmstedt, G. Notni