Martin Steglich

Carl Zeiss Jena GmbH

Institute of Applied Physics, Friedrich Schiller University Jena

4 papers

A18 · Talk · 125. Conference (2024)

Hochauflösende EUV-Gitter durch 2D-Phasenkorrektur in der Linienverteilung

M. Burkhardt, M. Steglich, M. Helgert, D. Lehr, S. Sinzinger

B30 · Talk · 123. Conference (2022)

Abbildende holografische EUV-Gitter

M. Burkhardt, M. Steglich, A. Kalies, M. Stumpf, D. Lehr

A31 · Talk · 120. Conference (2019)

Si-microstructures for back-illuminated Ge-on-Si photodetectors

D. Schmelz, K. Dietrich, M. Steglich, U. Zeitner

Talk PDF

B15 · Talk · 120. Conference (2019)

Musterprojektion im kurzwelligen Infrarot (SWIR): augensichere 3D-Formmessung mit hoher Genauigkeit

S. Heist, M. Landmann, M. Steglich, Y. Zhang, P. Kühmstedt, G. Notni