Dennis Lehr

Carl Zeiss Jena GmbH

Institut für Angewandte Physik, Friedrich-Schiller-Universität Jena

5 Beiträge

A18 · Vortrag · 125. Tagung (2024)

Hochauflösende EUV-Gitter durch 2D-Phasenkorrektur in der Linienverteilung

M. Burkhardt, M. Steglich, M. Helgert, D. Lehr, S. Sinzinger

B30 · Vortrag · 123. Tagung (2022)

Abbildende holografische EUV-Gitter

M. Burkhardt, M. Steglich, A. Kalies, M. Stumpf, D. Lehr

A27 · Vortrag · 119. Tagung (2018)

Optimization and manufacturing of gold gratings for pulse compression

F. Koch, O. Schönbrodt, M. Burkhardt, D. Lehr, T. Glaser, S. Sinzinger

A28 · Vortrag · 119. Tagung (2018)

Angepasste Interferenzgitter für spektroskopische und Laser-Anwendungen von EUV bis NIR

M. Burkhardt, F. Koch, A. Kalies, L. Erdmann, M. Helgert, A. Pesch, O. Schönbrodt, F. Frost, F. Finzel, D. Lehr, A. Gatto, S. Sinzinger

B11 · Vortrag · 115. Tagung (2014)

Effiziente Strukturierungsmethoden für deterministische nanooptische Strukturen

D. Lehr, K. Dietrich, T. Siefke, M. Banasch, E.-B. Kley, A. Tünnermann