DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
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Michael Helgert

Carl Zeiss Jena GmbH
Carl Zeiss AG

3 Beiträge

A18 · Vortrag · 125. Tagung (2024)

Hochauflösende EUV-Gitter durch 2D-Phasenkorrektur in der Linienverteilung

M. Burkhardt, M. Steglich, M. Helgert, D. Lehr, S. Sinzinger
A28 · Vortrag · 119. Tagung (2018)

Angepasste Interferenzgitter für spektroskopische und Laser-Anwendungen von EUV bis NIR

M. Burkhardt, F. Koch, A. Kalies, L. Erdmann, M. Helgert, A. Pesch, O. Schönbrodt, F. Frost, F. Finzel, D. Lehr, A. Gatto, S. Sinzinger
A15 · Vortrag · 109. Tagung (2008)

Nichtinvasive Bestimmung der Profilgeometrie von diffraktiven optischen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis

G. Ehret, C. John, E. Buhr, M. Ferstl, M. Helgert, O. Sandfuchs, R. Brunner