Nichtinvasive Bestimmung der Profilgeometrie von diffraktiven optischen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis

Die nichtinvasive bzw. zerstörungsfreie Bestimmung der Profilgeometrie diffraktiver optischer Strukturen ist bei einem hohem Aspektverhältnis (Verhältnis Strukturtiefe zu Strukturbreite>>1) sowohl mit dem Elektronenmikroskop als auch mit dem Rasterkraftmikroskop (AFM) oft nicht möglich. So ist z.B. in elektronenmikroskopischen Aufnahmen der Boden dieser Strukturen häufig nicht sichtbar. Das AFM stößt ebenso an seine Grenzen, da selbst mit superfeinen Spitzen der Boden von solchen diffraktiven Strukturen nicht mehr erreicht wird. Es wurde ein Replikationsverfahren auf Basis von UV-aushärtenden Polymeren entwickelt, wobei zuerst von der Originalprobe ein Abguss hergestellt und anschließend das Replikat glasartig gebrochen wird. Das gebrochene Replikat kann dann - senkrecht zur Strukturgeometrie - unter dem Elektronenmikroskop betrachtet und analysiert werden. Dieses Verfahren wurde auf verschiedene diffraktive Strukturen angewandt, u. a. auf ein Quarz-Kreisgitter mit einem Aspektverhältnis von größer als 6. Mit diesem Verfahren steht eine universelle Methode zur nichtinvasiven Bestimmung der Profilgeometrie von diffraktiven Optiken zur Verfügung.