Rainer Köning

Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)

Working Group 5.21 Length Scales, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)

7 papers

P18 · Poster · 126. Conference (2025)

Implementierung der Auswertealgorithmen für ein neuartiges mikroskopisches Verfahren zur Bestimmung bidirektionaler Größen aus Fokusserienmessungen

S. Dopslaff, J. Krüger, P. Manley, B. Bodermann, P.-I. Schneider, D. Bergmann, R. Köning, C. Eder, A. Heinrich, M. Hammerschmidt, L. Zschiedrich, E. Manske

P21 · Poster · 124. Conference (2023)

Ein in-situ Verfahren zur Bestimmung der numerischen Aperturen (NA) der Beleuchtung und der Abbildung optischer Mikroskope

J. Krüger, D. Bergmann, R. Köning, B. Bodermann

P5 · Poster · 123. Conference (2022)

Untersuchung des Schwingungseinflusses auf gemessene Punktspreizfunktionen in der optischen Mikroskopie

J. Krüger, R. Köning, B. Bodermann

B16 · Talk · 122. Conference (2021)

Vergleich rigoroser Simulationstools anhand von modellbasierten Kantendetektionen in der optischen Mikroskopie

J. Krüger, R. Köning, B. Bodermann

P14 · Poster · 121. Conference (2020)

Charakterisierung eines UV– Mikroskops zur hochgenauen Positions- und Breitenmessung am Nanometerkomparator (NMK) der PTB

J. Krüger, R. Köning, B. Bodermann

A24 · Talk · 114. Conference (2013)

Design des Verschiebeinterferometers zur Bestimmung der Gitterkonstante von Silizium mit einer relativen Unsicherheit von 3•10-9

C. Weichert, J. Flügge, R. Köning, P. Köchert

P19 · Poster · 108. Conference (2007)

An investigation the defocus behavior of an optical microscope used for high precision length metrology

R. Köning, J. Flügge, H. Bosse