Optimierung der absoluten Formmessung in der Tilted-Wave-Interferometrie
- 1Institute of Applied Optics, University of Stuttgart
- 2Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)
andreas [dot] brenner [at] ito [dot] uni-stuttgart [dot] de
Die Tilted-Wave-Interferometrie ermöglicht hochgenaue Formmessungen von Asphären und Freiformflächen im Nicht-Nulltest. Die Mehrdeutigkeit der interferometrischen Phase führt jedoch zu Abweichungen in der absoluten Form. In diesem Beitrag werden zwei Methoden vorgestellt, die diese Mehrdeutigkeiten durch die Einbeziehung zusätzlicher Informationen reduzieren.
@inproceedings{brenner2026b22,
author = {Brenner, Andreas and Scholz, Gregor and Meyer, Mark-Jona and Fortmeier, Ines and Schober, Christian and Pruß, Christof and Herkommer, Alois},
title = {{Optimierung der absoluten Formmessung in der Tilted-Wave-Interferometrie}},
booktitle = {DGaO-Proceedings 2026},
series = {DGaO-Proceedings},
eventtitle = {127. Jahrestagung der DGaO},
eventdate = {2026-05-27/2026-05-29},
venue = {Hamburg},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
year = {2026},
pages = {B22},
langid = {ngerman},
doi = {10.83229/127-b022},
url = {https://dgao-proceedings.de/paper/127-b22}
}
127. Annual Conference of the DGaO · Hamburg · 2026
DOI: 10.83229/127-b022