Optimierung der absoluten Formmessung in der Tilted-Wave-Interferometrie
- 1Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart
- 2Physikalisch-Technische Bundesanstalt
andreas [dot] brenner [at] ito [dot] uni-stuttgart [dot] de
Die Tilted-Wave-Interferometrie ermöglicht hochgenaue Formmessungen von Asphären und Freiformflächen im Nicht-Nulltest. Die Mehrdeutigkeit der interferometrischen Phase führt jedoch zu Abweichungen in der absoluten Form. In diesem Beitrag werden zwei Methoden vorgestellt, die diese Mehrdeutigkeiten durch die Einbeziehung zusätzlicher Informationen reduzieren.
@inproceedings{dgao127-b22,
title = {Optimierung der absoluten Formmessung in der Tilted-Wave-Interferometrie},
author = {Andreas Brenner, Gregor Scholz, M. Meyer, Ines Fortmeier, Christian Schober, Christof Pruß, Alois Herkommer},
booktitle = {DGaO-Proceedings, 127. Jahrestagung},
year = {2026},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
issn = {1614-8436},
doi = {10.83229/127-b022},
note = {Vortrag B22}
}
127. Jahrestagung der DGaO · Hamburg · 2026
DOI: 10.83229/127-b022