Methode für Direct Laser Interference Patterning auf große Flächen mit hohen Raten

Direct Laser Interference Patterning (DLIP) ermöglicht die Herstellung periodischer Mikro- und Nanostrukturen für funktionale Oberflächen wie z.B. hydrophobe, antibakterielle oder optische Anwendungen. Um DLIP auf industriell relevante Flächen zu skalieren, stellen mechanische Vibrationen großer Positionierungssysteme eine Herausforderung dar, da sie die Strukturqualität beeinträchtigen. In dieser Arbeit wurden zwei zentrale Parameter identifiziert, die Vibrationseffekte minimieren: die elliptische Form des Interferenzmusters und vibrationsfreie Vorschubgeschwindigkeiten. Experimente auf einer Anlage mit einem Verfahrbereich von 800 × 800 × 1000 mm³ und einer Positioniergenauigkeit von 10 µm belegen, dass homogene Strukturen mit einer Periodizität von 850 nm auf großen Flächen bei einer Strukturierungsrate von 400 mm²/s realisiert werden können.