Fertigung eines mikrostrukturierten Werkzeugeinsatzes zur kostengünstigen Herstellung von Hybridoptiken
- 1Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart
- 2Institut für Mikroaufbautechnik (HSG-IMAT), Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung
- 3Institut für Mikrointegration, Universität Stuttgart
kevin [dot] treptow [at] ito [dot] uni-stuttgart [dot] de
Hybride optische Elemente bieten durch ihre refraktiven und diffraktiven Eigenschaften neue Möglichkeiten im Optikdesign. Durch die kombinierten Funktionen kann dabei auf zusätzliche Grenzflächen verzichtet werden, was einerseits den Herstellungsprozess optimiert und andererseits den Bauraum verringert. Im Rahmen des IGF-Projektes "REDOLIS 3D" wurde eine Prozesskette zur kostengünstigen Herstellung von Hybridoptiken erarbeitet. Mittels Spritzprägen wurde ein mikrostrukturiertes Werkzeug in hohen Stückzahlen repliziert, was zu sehr geringen Kosten pro Bauteil führt. Wir stellen die erarbeitete Prozesskette sowie das Prozessmonitoring zur lithografischen Herstellung des strukturierten Masterbauteils vor.
@inproceedings{treptow2023a9,
author = {Treptow, Kevin and Wagner, Steven and Pruß, Christof and Zimmernann, André and Herkommer, Alois and Reichelt, Stephan},
title = {{Fertigung eines mikrostrukturierten Werkzeugeinsatzes zur kostengünstigen Herstellung von Hybridoptiken}},
booktitle = {DGaO-Proceedings 2023},
series = {DGaO-Proceedings},
eventtitle = {124. Jahrestagung der DGaO},
eventdate = {2023-05-31/2023-06-03},
venue = {Berlin},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
year = {2023},
pages = {A9},
url = {https://dgao-proceedings.de/paper/124-a9}
}