DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
DE
Talk A9 14:00

Fertigung eines mikrostrukturierten Werkzeugeinsatzes zur kostengünstigen Herstellung von Hybridoptiken

Kevin Treptow1, Steven Wagner2, Christof Pruß1, André Zimmernann3, Alois Herkommer1, Stephan Reichelt1
  1. 1Institute of Applied Optics, University of Stuttgart
  2. 2Institute of Micro Assembly Technology (HSG-IMAT), Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung
  3. 3Institute for Micro Integration, University of Stuttgart

kevin.treptow@ito.uni-stuttgart.de

Hybride optische Elemente bieten durch ihre refraktiven und diffraktiven Eigenschaften neue Möglichkeiten im Optikdesign. Durch die kombinierten Funktionen kann dabei auf zusätzliche Grenzflächen verzichtet werden, was einerseits den Herstellungsprozess optimiert und andererseits den Bauraum verringert. Im Rahmen des IGF-Projektes "REDOLIS 3D" wurde eine Prozesskette zur kostengünstigen Herstellung von Hybridoptiken erarbeitet. Mittels Spritzprägen wurde ein mikrostrukturiertes Werkzeug in hohen Stückzahlen repliziert, was zu sehr geringen Kosten pro Bauteil führt. Wir stellen die erarbeitete Prozesskette sowie das Prozessmonitoring zur lithografischen Herstellung des strukturierten Masterbauteils vor.

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@inproceedings{dgao124-a9, title = {Fertigung eines mikrostrukturierten Werkzeugeinsatzes zur kostengünstigen Herstellung von Hybridoptiken}, author = {Kevin Treptow, Steven Wagner, Christof Pruß, André Zimmernann, Alois Herkommer, Stephan Reichelt}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 124. Jahrestagung}, year = {2023}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Talk A9} }
124. Annual Conference of the DGaO · Berlin · 2023