Einzelstrukturcharakterisierung mittels abbildender Müller-Matrix-Ellipsometrie

Mittels Müller-Matrix-Ellipsometrie lassen sich Form-Eigenschaften periodischer Nanostrukturen bestimmen, falls die Messfelder größer sind als die Beleuchtungspunktgröße. Kleinere, vereinzelte Strukturen können dagegen mit abbildender Ellipsometrie gemessen werden. Hier werden alle 16 Müller-Matrix-Elemente separat für jedes Pixel der verwendeten Kamera bestimmt. Aus solchen Müller-Matrix-Bildern lassen sich zusätzliche räumliche Informationen über alle Polarisationseigen-schaften der Probe gewinnen. Wir haben ein kombiniertes System realisiert, welches Messungen mit abbildender Ellipsometrie in Transmission und Reflexion bei Einfallswinkeln zwischen 37,5° und 90° sowie mittels Auflicht-Müller-Mikroskopie erlaubt. Für systematische Untersuchungen des Ein-flusses der Form auf Müller-Matrix-Elemente haben wir eine Reihe einzelner Nanostrukturen mit verschiedenen geometrischen Eigenschaften entwickelt. Die quadratischen und runden Strukturen sowie Quadrate mit Eckenrundungen haben Durchmesser zwischen 50 nm und 5 µm. Wir diskutie-ren den Einsatz von Müller-Matrix-Bildern zur Charakterisierung von Nanostrukturen mit Eigen-schaften kleiner als die Auflösung des verwendeten Mikroskops.