Schwarzes und weißes Quarzglas: Hochabsorbierendes und diffus reflektierendes SiO2 durch Sol-Gel Prozess und 'Mottenaugen'-Strukturen

  1. 1Applied Optics, Ernst Abbe University of Applied Sciences Jena
  2. 2Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF, Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering IOF
  3. 3Max-Planck-Institut für medizinische Forschung, Max Planck Institute for Medical Research
  4. 4Nanopta GmbH
  5. 5IQS GmbH

robert.brunner@eah-jena.de

Neben exzellenten optischen Eigenschaften, die Quarzglas über einen sehr großen Spektralbereich aufweist, besitzt dieses Material auch herausragende physikalische Eigenschaften wie eine hohe chemische und thermische Beständigkeit. In diesem Beitrag stellen wir hoch absorbierendes ('schwarzes') und diffus reflektierendes ('weißes') Quarzglas vor, das unter anderem zur Falschlichtunterdrückung oder als Kalibriermaterial genutzt werden kann. In einem modifizierten Sol-Gel-Prozess werden mikrometergroße Hohlräume im Materialvolumen hergestellt ('weiß') oder Kohlenstoff-Nanopartikel eingebracht ('schwarz'), um diffuse Streuung respektive Absorption zu erzielen. Zusätzlich werden die Oberflächen mit 'Mottenaugen'-Strukturen entspiegelt, die durch mizellare Block-Copolymer Nanolithografie (BCML) und anschließendes reaktives Ionenätzen erzeugt werden. Die 'Mottenaugen'-Strukturen reduzieren drastisch spekulare Reflexe über einen großen Spektralbereich von 250 nm bis 2500 nm und für variierende Einfallswinkel. Durch Maßschneidern der 'Mottenaugen'-Strukturen kann ein Reflexionsminimum von 0,1 % erreicht und dessen spektrale Position festgelegt werden.

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@inproceedings{dgao122-b28, title = {Schwarzes und weißes Quarzglas: Hochabsorbierendes und diffus reflektierendes SiO2 durch Sol-Gel Prozess und 'Mottenaugen'-Strukturen}, author = {Robert Brunner, Matthias Kraus, Klaus Weishaupt, Zhaolu Diao, Johannes Hirte, Joachim Spatz, Torsten Harzendorf, Marcus Trost, Anne-Sophie Munser, Sven Schröder, Michael Bär}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 122. Jahrestagung}, year = {2021}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Talk B28} }
122. Annual Conference of the DGaO · Bremen · 2021