OLED-on-Silicon: Technologie für Mikrodisplays, optoelektronische Sensorik und Bildgebung
- Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP, Fraunhofer Institute for Organic Electronics, Electron Beam and Plasma Technology FEP
uwe [dot] vogel [at] fep [dot] fraunhofer [dot] de
Silizium-Mikroelektronik hat durch leistungsfähige Bildsensoren zu einem erheblichen Aufschwung der Optoelektronik geführt. Doch aufgrund des indirekten Bandübergang im Silizium ist die strom-/leistungseffiziente Lichterzeugung in CMOS-Chips schwierig. Eine Alternative bieten organische LED (OLED), die in Waferverarbeitung als post-processing auf Si-CMOS-Chips aufgebracht werden (OLED-on-Silicon). Durch die Verbindung von OLED mit CMOS-Schaltungstechnik können ihre Vorteile wie Leuchtdichte, Effizienz, niedrige Betriebsspannung, spektrale Charakteristik (UV/VIS/NIR) neben der Anwendung in Consumer-Displays (Smartphones, TV) gänzlich neue und alternative Applikationen bedienen. Dabei lässt sich der Lichtemitter platzsparend oberhalb der CMOS-Elektronik anordnen, benötigt also keine zusätzliche Chipfläche. Aus dieser Kombination leiten sich fortgeschrittene Bauelemente und Applikationen ab, z.B. OLED-Mikrodisplays mit integriertem Bildempfänger ("bi-direktionale OLED Mikrodisplays") für augengesteuerte interaktive Datenbrillen oder optoelektronische Sensoren mit integrierter Lichtquelle. Der Vortrag gibt einen Überblick zu Technologie, Design und Anwendungen.
@inproceedings{vogel2017h6,
author = {Vogel, Uwe and Richter, Bernd and Wartenberg, Philipp and König, Peter and Hild, Olaf and Fehse, Karsten and Beyer, Beatrice and Bodenstein, Elisabeth},
title = {{OLED-on-Silicon: Technologie für Mikrodisplays, optoelektronische Sensorik und Bildgebung}},
booktitle = {DGaO-Proceedings 2017},
series = {DGaO-Proceedings},
eventtitle = {118. Jahrestagung der DGaO},
eventdate = {2017-06-07/2017-07-08},
venue = {Dresden},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
year = {2017},
pages = {H6},
url = {https://dgao-proceedings.de/paper/118-h6}
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