Puls-Magnetron-Sputtern für optische Präzisionsbeschichtungen auf großen Substraten

Magnetron-Sputtern eignet sich sehr gut für die Abscheidung dünner Schichten für optische und elektronische Anwendungen. Aufgrund der energetischen Aktivierung während des Schichtwachstums sind die Schichten dicht, glatt und zeigen eine ausgezeichnete Umweltstabilität. Es werden Beispiele für optische Präzisionsbeschichtungen vorgestellt, die in der am FEP verfügbaren Präzisionsbeschichtungsanlage PreSensLine hergestellt wurden. Für die Hintergrundbeleuchtung eines holographischen 3D-Displays der Firma SeeReal Technologies wurde eine spezielle Antireflexbeschichtung aufgebracht, die eine Entspiegelung für RGB-Laserwellenlängen unter 85° Einfallswinkel erlaubt. Normalerweise werden 74% des Lichts reflektiert. Die Reflexion konnte durch das in der PreSensLine aufgebrachte AR-Schichtsystem (24 Schichten) auf unter 3% verringert werden. Durch die Kombination des Präzisionsantriebes der PreSensLine-Anlage mit einer speziellen Pulsparametervariation ist es möglich, die Beschichtungsrate in Abhängigkeit von der Substratposition genau einzustellen. Somit sind homogene Beschichtungen auf gewölbten Substraten sowie Freiformbeschichtungen auf großen optischen Komponenten möglich.