Aufbau einer stabilisierten Fabry-Pérot-Kavität für die Homogenitätsprüfung von Glasplatten mittels eines Frequenzkamms

Die genaue Kenntnis der Güte von Glas-Substraten ist im Rahmen der optischen Fertigung unerlässlich. Bei einer kürzlich vorgestellten Methode zur optischen Homogenitätsprüfung wird der Prüfling in ein Fizeau-Interferometer eingebracht und in mehreren Positionen vermessen. Als Lichtquelle dient eine Kombination aus einer Superlumineszenzdiode und einer Fabry-Pérot-Kavität, so dass eine Pulskette in Form eines Frequenzkamms entsteht. Durch Variation des Plattenabstandes der Kavität ist es möglich, paarweise Oberflächen im Fizeau-Interferometer anzusteuern und separat zur Interferenz zu bringen, was die Messung der Homogenität ermöglicht. Dazu wird eine Fabry-Pérot-Kavität benötigt, die während der Messung, die mehrere Minuten dauern kann, gegen thermisches Driften sowie Verkippungen über Verfahrwege im cm-Bereich auf Wellenlängen-Skala stabil bleibt. Dies kann durch eine aktive Stabilisierung mittels Piezoelementen und Mikrocontrollern erreicht werden. Angelehnt an die Arbeit von J. V. Ramsay aus dem Jahr 1962 soll ein solches Gerät mit heutigen elektronischen Mitteln aufgebaut und in der Homogenitätsprüfung eingesetzt werden. Der aktuelle Stand dieser Arbeit wird vorgestellt.