Reduktion der Residuenanzahl bei lateraler Speckle-Shearing-Interferometrie: Simulationen und Messergebnisse

Die Speckle-Interferometrie als Werkzeug zur Vermessung rauher Oberflächen besitzt eine entscheidende Problematik: Residuen, also Gebiete mit unbestimmter Phase. Diese Orten führen beim notwendigen Kontinuierungsschritt der Phase zu Mehrdeutigkeiten und erschweren die Auswertung. Im letzten Jahr wurde im Rahmen des lateralen Shearings ein Verfahren vorgestellt, welches es gestattet, die Anzahl solcher Orte zu verringern. Das Verfahren besteht in der Formung der Lichtquelle als periodische Quelle, die zu einer Mittelung mehrerer Speckle-Felder bei Erhalt von hohem Kontrast der Interferenzstreifen führt. In diesem Beitrag wird nun systematisch die Reduktion der Residuenanzahl abhängig von Specklegröße und Shearabstand sowie der Lichtquellenform anhand von Simulationen untersucht. Eine experimentelle Verifikation des gefundenen Ergebnisses soll zeigen, ob und in welchem Bereich sich diese Maßnahme für eine tatsächliche Messung verwenden lässt.