Strukturierungsfehler diffraktiv optischer Elemente

Diffraktiv optische Elemente (DOE) finden in ihrer Funktion als Strahl- bzw. Wellenfrontformer in verschiedensten Messaufgaben Verwendung. Bedingt durch das Herstellungsverfahren weisen DOE systematische Aberrationen bezüglich Ihrer Sollwirkung auf. Substrat und Strukturierungsfehler stellen hierbei die häufigste Ursache dieser Aberrationen dar. Unter Zuhilfenahme sphärischer Wellenfronten in einem interferometrischen Messverfahren im Durchlicht können typische Fehler unterschiedlicher Herstellungsverfahren getrennt vom Fehlereinflusses des Substrates bestimmt werden. Durch die Umsetzung der lateralen Fehler der Strukturierung in interferometrisch messbare Phasenfehler werden Genauigkeiten erzielt, die etablierte Kalibrationsmethoden übertreffen. Die so gemessenen Aberrationen bezüglich einer sphärischen Wellenfront lassen Rückschlüsse auf die reale Kalibration des verwendeten Herstellungsverfahrens zu. Es werden verschiedene Schreibfehler wissenschaftlicher und industrieller Lithographieanlagen vorgestellt und charakterisiert.