Wellenfrontmessung mit Shearing-Interferometrie bei simultaner Erfassung beider Richtungsableitungen

Es wird ein simultanes Messverfahren zur hochgenauen Wellenfrontmessung aus Shearinginterferogrammen vorgestellt. Unter dem Begriff "simultan" ist zu verstehen, dass das einfallende Wellenfeld mittels einer Polarisationsindizierung in zwei orthogonalen lateralen Richtungen gleichzeitig gesheart wird. Aus den Gradienteninformationen können die Wellenaberrationen durch nachträgliche Integration generiert werden. Die simultane Messung der orthogonalen Komponenten erfolgt dabei auf einem gemeinsamen Raster, was die globale Verzeichnung der Abbildungsoptik minimiert und die schwierige Justage der beiden Abweichungsfelder bezüglich des Koordinatensystems des Detektorfeldes vermeidet. Das Shearingverfahren wird dabei diffraktiv auf Basis von zwei Ronchi-Phasen-Gittern in einer Reihenschaltung realisiert. Der Beitrag zeigt den verwendeten Aufbau des Wellenfrontsensors sowie erste Meßergebnisse.