Weiterentwicklung des TMS-Verfahrens zur hochauflösenden und hochgenauen optischen Formmessung
- Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Das neu entwickelte TMS (Traceable Multi Sensor) Verfahren nutzt ein System aus gekoppelten Abstandssensoren, z.B. Einzelpixel eines Fizeau-Interferometers, in Kombination mit einem Autokollimator zur scannenden Messung optischer Oberflächen. Mit dem Verfahren können die Topografien der Oberflächen hochgenau und mit hoher Ortsauflösung gemessen werden, wobei das System auf die Einheiten Länge und Winkel zurückgeführt werden kann und die geradlinige Lichtausbreitung als Geradheitsreferenz genutzt wird. Es wird über den aktuellen Stand der TMS-Messtechnik und Weiterentwicklungen des Systems zur Messung nahezu planer und schwach gekrümmter optischer Oberflächen berichtet. Darüber hinaus werden Weiterentwicklungen des TMS-Verfahrens zur Messung stärker gekrümmter optischer Oberflächen diskutiert.