Analía Fernández Herrero
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Optik und Strahlrohre, Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie
2 Beiträge
A16 · Vortrag · 125. Tagung (2024)
Entwicklungen und Herausforderungen in der EUV und X-ray nano metrologie für Lithographische Strukturen
A7 · Vortrag · 124. Tagung (2023)