Analía Fernández Herrero

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Optik und Strahlrohre, Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie

2 Beiträge

A16 · Vortrag · 125. Tagung (2024)

Entwicklungen und Herausforderungen in der EUV und X-ray nano metrologie für Lithographische Strukturen

V. Soltwisch, R. Ciesielski, M. Mulazzi, A. Fernández Herrero, A. Andrle, N. Abbasirad, V. Truong, L. Lohr, P. Hönicke, M. Kolbe, F. Scholze

A7 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

Grautonlithographie für die Herstellung von Blazegittern

A. Fernández Herrero, N. Samadi, S. Rehbein, V. Guzenko, A. Sokolov, C. Braig, A. Teichert, A. Erkot, T. Krist, C. David, F. Siewert