Analía Fernández Herrero
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)
Optics and Beamlines, Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie
2 papers
A16 · Talk · 125. Conference (2024)
Entwicklungen und Herausforderungen in der EUV und X-ray nano metrologie für Lithographische Strukturen
A7 · Talk · 124. Conference (2023)