Rüdiger Schmidt-Grund

Fachgebiet Technische Physik 1, Technische Universität Ilmenau

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B34 · Vortrag · 123. Tagung (2022)

Vergleich verschiedener Ansätze zur zerstörungsfreien optischen Charakterisierung von Subwellenlängenstrukturen

J. Wüster, A. Knauer, R. Schmidt-Grund, S. Sinzinger