Rüdiger Schmidt-Grund

Department of Technical Physics 1, Technische Universität Ilmenau

1 paper

B34 · Talk · 123. Conference (2022)

Vergleich verschiedener Ansätze zur zerstörungsfreien optischen Charakterisierung von Subwellenlängenstrukturen

J. Wüster, A. Knauer, R. Schmidt-Grund, S. Sinzinger