Ulrich Mescheder

Institut für Mikrosystemtechnik, Hochschule Furtwangen

Technische Fakultät, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

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B24 · Vortrag · 122. Tagung (2021)

Charakterisierung und erste Anwendungen eines MEMS-basierten adaptiven Zylinderspiegels

U. Kallmann, M. Lootze, U. Mescheder