Jana Grundmann
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)
6 papers
A23 · Talk · 125. Conference (2024)
Zerstörungsfreie multimodale Analyse von polymerbasierten Mikro- und Nanostrukturen für die Nanoimprint Lithographie
B21 · Talk · 124. Conference (2023)
Messungen und numerische Simulationen der Müller-Matrix an Silizium Nanowire-Strukturen
A1 · Talk · 123. Conference (2022)
Metrologie zur Identifikation und Charakterisierung von Materialdefekten an GaN- und SiC-Wafern
A1 · Talk · 122. Conference (2021)
Entwicklung eines Müller-Matrix-Mikroskops für Messungen an Einzelstrukturen
P13 · Poster · 122. Conference (2021)
Einzelstrukturcharakterisierung mittels abbildender Müller-Matrix-Ellipsometrie
P8 · Poster · 120. Conference (2019)