Michael Banasch

Vistec Electron Beam GmbH

1 paper

B11 · Talk · 115. Conference (2014)

Effiziente Strukturierungsmethoden für deterministische nanooptische Strukturen

D. Lehr, K. Dietrich, T. Siefke, M. Banasch, E.-B. Kley, A. Tünnermann