Michael Banasch

Vistec Electron Beam GmbH

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B11 · Vortrag · 115. Tagung (2014)

Effiziente Strukturierungsmethoden für deterministische nanooptische Strukturen

D. Lehr, K. Dietrich, T. Siefke, M. Banasch, E.-B. Kley, A. Tünnermann