DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
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Sven Burger

JCMwave GmbH
Zuse-Institut Berlin

3 Beiträge

B9 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

Machine learning based optimization with applications in optics design, scatterometry, and experiment control

P.-I. Schneider, I. Sekulic, M. Plock, S. Heidenreich, S. Burger
B39 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

Light scattering off semi-infinite structures

L. Zschiedrich, P. Manley, P.-I. Schneider, S. Burger
P14 · Poster · 114. Tagung (2013)

Untersuchungen zum Einfluss verwendeter Näherungen in der Scatterometrie

J. Endres, S. Burger, A. Diener, H. Gross, M.-A. Henn, S. Heidenreich, M. Wurm, B. Bodermann