DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
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A. Refke

FISBA AG

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A26 · Vortrag · 114. Tagung (2013)

Die Nutzung des Twymaneffektes in der Dünnschichttechnologie

C. Brüggemann, O. Fähnle, A. Refke, E. Langenbach