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DGaO
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Proceedings
ISSN 1614-8436
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J. Finster
J. Finster
JENOPTIK Optical Systems GmbH
1 Beitrag
B18 · Vortrag · 112. Tagung (2011)
Über die Verminderung der Depolarisation in einem DUV-Objektiv mit großer numerischer Apertur - eine Fallstudie
St. Müller-Pfeiffer, J. Finster, O. Falkenstörfer