Gerd Jäger

Technische Universität Ilmenau

Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau

3 papers

A16 · Talk · 112. Conference (2011)

Multisensortechnologie mit der Nanopositionier- und Nanomessmaschine

E. Manske, G. Jäger, T. Hausotte

A37 · Talk · 112. Conference (2011)

Verbesserung der Kantenfindung mit einem Fokussensor durch Simulationen auf der Grundlage rigoroser Beugungstheorie

H. Baitinger, E. Manske, R. Mastylo, N. Vorbringer-Dorozhovets, S. Sinzinger, G. Jäger, J. Bischoff

H2 · Keynote · 112. Conference (2011)

Grundlagen laserinterferometrischer Präzisionsmessgeräte