Gerd Jäger

Technische Universität Ilmenau

Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Technische Universität Ilmenau

3 Beiträge

A16 · Vortrag · 112. Tagung (2011)

Multisensortechnologie mit der Nanopositionier- und Nanomessmaschine

E. Manske, G. Jäger, T. Hausotte

A37 · Vortrag · 112. Tagung (2011)

Verbesserung der Kantenfindung mit einem Fokussensor durch Simulationen auf der Grundlage rigoroser Beugungstheorie

H. Baitinger, E. Manske, R. Mastylo, N. Vorbringer-Dorozhovets, S. Sinzinger, G. Jäger, J. Bischoff

H2 · Hauptvortrag · 112. Tagung (2011)

Grundlagen laserinterferometrischer Präzisionsmessgeräte