Aleksandr Ovsianikov

Laser Zentrum Hannover e.V., Laser Zentrum Hannover

1 paper

A11 · Talk · 112. Conference (2011)

Fourier-Scatterometrie zur Charakterisierung von sub-lambda Zwei-Photonen-Polymerisations-strukturierten Kreuzgittern

V. Ferreras Paz, S. Peterhänsel, K. Frenner, W. Osten, A. Ovsianikov, K. Obata, B. N. Chichkov