Aleksandr Ovsianikov

Laser Zentrum Hannover e.V.

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A11 · Vortrag · 112. Tagung (2011)

Fourier-Scatterometrie zur Charakterisierung von sub-lambda Zwei-Photonen-Polymerisations-strukturierten Kreuzgittern

V. Ferreras Paz, S. Peterhänsel, K. Frenner, W. Osten, A. Ovsianikov, K. Obata, B. N. Chichkov