Stefanie Bonifer

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

2 Beiträge

A12 · Vortrag · 112. Tagung (2011)

Strukturbreitenmessungen an einer phasenschiebenden Photomaske mittels verbessertem DUV-Scatterometer

B. Bodermann, M. Wurm, S. Bonifer, J. Richter

P25 · Poster · 111. Tagung (2010)

Charakterisierung von DOEs mittels DUV-Scatterometrie

M. Wurm, S. Bonifer, B. Bodermann