Stefanie Bonifer

Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)

2 papers

A12 · Talk · 112. Conference (2011)

Strukturbreitenmessungen an einer phasenschiebenden Photomaske mittels verbessertem DUV-Scatterometer

B. Bodermann, M. Wurm, S. Bonifer, J. Richter

P25 · Poster · 111. Conference (2010)

Charakterisierung von DOEs mittels DUV-Scatterometrie

M. Wurm, S. Bonifer, B. Bodermann