Stefanie Bonifer
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)
2 papers
A12 · Talk · 112. Conference (2011)
Strukturbreitenmessungen an einer phasenschiebenden Photomaske mittels verbessertem DUV-Scatterometer
P25 · Poster · 111. Conference (2010)