Zhi Li

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

2 Beiträge

P34 · Poster · 112. Tagung (2011)

Erste Messungen mittels eines hochaperturigen 193 nm Mikroskops zur Strukturbreitenmessung

B. Bodermann, Z. Li, D. Bergmann, A. Diener, H. Kuhn

A26 · Vortrag · 111. Tagung (2010)

Aufbau eines 193 nm Mikroskops als Strukturbreitenmesssystem für Photomasken

Z. Li, F. Pilarski, D. Bergmann, B. Bodermann, E. Buhr