Zhi Li
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)
2 papers
P34 · Poster · 112. Conference (2011)
Erste Messungen mittels eines hochaperturigen 193 nm Mikroskops zur Strukturbreitenmessung
A26 · Talk · 111. Conference (2010)