Sandy Peterhänsel
Stuttgart Research Center of Photonic Engineering, Universität Stuttgart
Universität Stuttgart
Institut für Optik, Information und Photonik, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
3 Beiträge
B4 · Vortrag · 114. Tagung (2013)
Studying fabrication induced phase errors in CGHs using RCWA
A11 · Vortrag · 112. Tagung (2011)
Fourier-Scatterometrie zur Charakterisierung von sub-lambda Zwei-Photonen-Polymerisations-strukturierten Kreuzgittern
P24 · Poster · 110. Tagung (2009)